




氦質(zhì)譜檢漏儀
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。同時(shí),當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲(chǔ)槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域,然后將氣體通過(guò)管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)。各國(guó)的設(shè)備廠(chǎng)商相繼推出了多種類(lèi)烈的氦質(zhì)譜檢漏儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車(chē)等各個(gè)行業(yè),綜觀(guān)1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動(dòng)化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展,這些特點(diǎn)很好地滿(mǎn)足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大地1推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。
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特種氣體鋼瓶在運(yùn)輸和儲(chǔ)存的注意事項(xiàng)
由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險(xiǎn)性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門(mén)拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運(yùn)及儲(chǔ)存中應(yīng)注意的一些安全事項(xiàng)。
氣體鋼瓶在運(yùn)輸和裝卸過(guò)程中應(yīng)輕裝輕卸,嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。
使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時(shí)不要使用同一個(gè)減壓閥。
不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮?dú)?、二氧化碳等)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。
燒焊時(shí),應(yīng)對(duì)氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊槍等。
特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥,并有良好通風(fēng),嚴(yán)禁明火和其它熱源,嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙,氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。
在儲(chǔ)存、運(yùn)輸及使用杜瓦罐時(shí)不能使其臥倒,應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。
高純氣體的輸送管路系統(tǒng)
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來(lái)越高,對(duì)氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求極為嚴(yán)格,需要達(dá)到ppb、ppt級(jí),塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對(duì)高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。4、壓縮空氣在管路上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯(lián)一路,用單獨(dú)的閥門(mén)隔離,以方便對(duì)過(guò)濾裝置進(jìn)行維修。
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